【摘要】本发明属于新材料加工技术领域，发明人提供了一种全新的高纯碳化硅粉料的制备方法，该方法以高纯度硅烷和高纯度碳粉为原料，搭配使用对应的多孔石墨坩埚和石墨托盘组，在惰性气体的保护下可以获得高纯度的碳化硅粉料；采用这种方法，避免了其他物质带入的杂质，通过纯石墨制备的器具进行反应，在保证纯度的同时达到了碳化硅粉料生产所需的条件，为高纯度碳化硅粉料的生产提供了一种全新的路径，填补了现有技术的空白。

综上所述，发明人提供了一种全新的高纯碳化硅粉料的制备方法，该方法以高纯度硅烷和高纯度碳粉为原料，搭配使用对应的多孔石墨坩埚和石墨托盘，在惰性气体的保护下可以获得高纯度的碳化硅粉料；采用这种方法，避免了其他物质带入的杂质，通过纯石墨制备的器具进行反应，在保证纯度的同时达到了碳化硅粉料生产所需的条件，为高纯度碳化硅粉料的生产提供了一种全新的路径，填补了现有技术的空白。

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根据现有技术存在的不足和空白，本发明的发明人提供了一种全新的高纯碳化硅粉料的制备方法，该方法以高纯度硅烷和高纯度碳粉为原料，搭配使用对应的多孔石墨坩埚和石墨托盘，在惰性气体的保护下可以获得高纯度的碳化硅粉料；采用这种方法，避免了其他物质带入的杂质，通过纯石墨制备的器具进行反应，且在反应前期可以进行环境除杂，在保证纯度的同时达到了碳化硅粉料生产所需的条件，为高纯度碳化硅粉料的生产提供了一种全新的路径，填补了现有技术的空白。

此次签约的5个项目包括东方希望集团投资1535亿元的北海循环经济产业基地项目、香港众诚能源集团投资630亿元的铁山港化工新材料项目、中昊智达投资集团投资500亿元的北海项目群、亚太森博(广东)纸业有限公司总投资200亿元的林浆纸一体化项目、河南金山化工集团总投资125亿元的玻璃生产配套暨传统盐化工升级改造项目。

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目前碳化硅粉料制备主要使用高温自蔓延合成法实现。这种方法利用高温给予反应物初始发热，使其开始产生化学反应；随着反应进行，未反应的物质在反应放热的条件下继续完成化学反应。然而此种方法所使用的硅粉中通常含有较高含量的杂质元素，其在后续合成过程中会参与到反应中，造成粉料中杂质浓度偏高；并且，硅粉的低熔点限制了合成反应前的高温提纯处理，造成生长环境中的杂质无法去除；此外，自蔓延方法通常需添加额外的辅助反应剂才能维持进行，不可避免的造成外来杂质的污染。以上因素会导致合成的碳化硅粉料中具有较高浓度的杂质元素存在，从而影响到后续高纯半绝缘碳化硅单晶的制备。